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加热功能 工作盘具有加热功能
使膜的粘着力更强
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气压调节 滚轮压力可通过
气压调节
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高度调节 工作盘高度可调节
适应不同厚度的产品
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进口刀片 配备圆周刀和横切刀
采用进口刀片，使用寿命更长
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弹簧支撑 上翻盖有液压弹簧支撑
操作省力，安全
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操作步骤 |
1、插上电源，气管接头插入气源
2、打开电源开关和温控开关，将温度设定于35℃（不同产品膜温差士5℃）
设置温控给定值：在基本显示状态下可以通过按∧，∨，＜键来修改下显示窗口显示的设定温度控制值。按∨键减小数据，按∧键增加数据，可修改数值位的小数点同时闪动（如同光标）。长按并保持不放可以快速地增加/减少数值，并且速度会随小数点右移自动加快（2级速度）。而按＜键则可直接移动修改数据的位置（光标），按∧或∨键可修改闪动位置的数值，操作快捷。 3、将晶圆环然放入晶圆环槽中，使晶圆环卡口处刚好卡入两侧定位销，防止晶圆环滑动。
4、将晶圆放入晶圆台中心位置，打开真空开关，固定晶圆。
5、双手拉住膜两侧，拉膜至设备前端粘膜条固定。
6、来回拉动压膜滚轮。
7、盖上设备盖板，握住圆周刀手柄，旋转1至2圈，将膜切断。
8、握住横切刀手柄，下压到位，从左往右，将膜切断，拉回横切刀。
9、掀开设备盖板，撕去周边切除的膜，关闭真空，取下晶圆环，贴膜完毕。
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产品参数
■ 可选配置
| 型号 | TM21-6 | TM21-8 | TM21-12 |
| 机器尺寸 | 900(L)*500(W)*350(H)mm | 900(L)*500(W)*350(H)mm | 1000(L)*700(W)*400(H)mm |
| 机器重量 | 90 KG | 90KG | 90 KG |
| 适应产品尺寸 | 3~6 inch(可定制特殊规格） | 3~8 inch(可定制特殊规格） | 3~12 inch(可定制特殊规格） |
| 适应环规格 | 6 inch | 8 inch | 12 inch |
| 适应蓝膜类型 | UV膜、蓝膜（规格:卷） | UV膜、蓝膜（规格:卷） | UV膜、蓝膜（规格:卷） |
| 电压 | 220V （可定制） | 220V （可定制） | 220V （可定制） |
| 功率 | 700W | 700W | 700W |
| 压缩空气 | 0.5~0.8 Mpa | 0.5~0.8 Mpa | 0.5~0.8 Mpa |
| 台盘加热范围 | 室温 80℃ | 室温 80℃ | 室温 80℃ |
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