PL系列

  

绿色环保

替代传统湿法清洗

绿色环保、低成本

零排放污染

超高频13.56MHZ

超高频13.56MHZ

等离子去污、表面活化

高密封性真空腔体

可定制化

腔体尺寸多层数、可定制化

满足使用需求

多气体通道支持扩展接入口

 

产品参数

 

可选配置


型号 PL20-MA
电源频率 40KHz/13.56MHz 气体流量控制 0-500SCCM(MFC+-2%)
容量 60 /110 /150 /180 /200 L 气体通道 两路(可增加):Ar、N₂、H₂、CF₄、O₂
功率 0~1000 W(可调) 处理层数 11/15/17/17/21
腔体尺寸 □     60L     长400*宽400*高400mm
□   110L     长500*宽450*高400mm
□   150L     长500*宽500*高600mm
□   180L     长500*宽600*高600mm
 外形尺寸 □     60L     长400*宽400*高400mm
□   110L     长500*宽450*高400mm
□   150L     长500*宽500*高600mm
□   180L     长500*宽600*高600mm
真空泵 飞跃油泵+罗茨泵 电极陶瓷 进口高频陶瓷
真空度 9~30Pa 系统控制软件 自主研发V2.0
腔体材质 进口316不锈钢 腔体温度 <30℃
等离子体发生器 40KHz/13.56MHz(选配) 控制方式 PLC &人机控制界面
应用领域 产品适用于光电、IGBT、MEMS、CMOS等半导体封装环节;
可进行等离子表面活化/清洗、等离子处理后粘合、等离子蚀刻/活化、等离子去胶、等离子涂镀(亲水,疏水)、增强绑定性、
等离子涂覆、等离子灰化和表面改性等场合。