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绿色环保 替代传统湿法清洗 绿色环保、低成本 零排放污染 |
超高频13.56MHZ 超高频13.56MHZ 等离子去污、表面活化 高密封性真空腔体 |
可定制化 腔体尺寸多层数、可定制化 满足使用需求 多气体通道支持扩展接入口 |
产品参数
■ 可选配置
型号 | PL20-MA | ||
电源频率 | 40KHz/13.56MHz | 气体流量控制 | 0-500SCCM(MFC+-2%) |
容量(L) | 60\110\150\180\200 | 气体通道 | 两路(可增加):Ar、N2,H2、CF4、O2 |
功率(W) | 0-1000(可调) | 处理层数 | 11/15/17/17/21 |
腔体尺寸(WxDxH) | 400*450*400mm 500*450*500mm 500*500*600mm 500*600*600mm 500×580×700mm |
外形尺寸(WxDxH) | 1000*1030*1630mm 1100*1030*1680mm 1200*1100*1730mm 1200*1200*1730mm 1250*1230*1790mm |
真空泵 | 5-100Pa(可调) | 电极陶瓷 | 进口高频陶瓷 |
腔体材质 | 316不锈钢/进口铝合金(选配) | 腔体温度 | <30℃ |
等离子体发生器 | 40KHz/13.56MHz(选配) | 控制方式 | PLC+触摸屏 |
可选组合 | 产品适用于光电、IGBT、MEMS、COMS等半导体封装环节; 可进行等离子表面活化/清洗、等离子处理后粘合、等离子蚀刻/活化、等离子去胶、等离子涂镀(亲水,疏水)、增强绑定性、等离子涂覆、 等离子灰化和表面改性等场合; |