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PL系列

  

绿色环保

替代传统湿法清洗

绿色环保、低成本

零排放污染

超高频13.56MHZ

超高频13.56MHZ

等离子去污、表面活化

高密封性真空腔体

可定制化

腔体尺寸多层数、可定制化

满足使用需求

多气体通道支持扩展接入口

 

产品参数

 

■ 可选配置

型号 PL20-MA
电源频率 40KHz/13.56MHz 气体流量控制 0-500SCCM（MFC+-2%）
容量（L) 60\110\150\180\200 气体通道 两路（可增加）：Ar、N2，H2、CF4、O2
功率（W） 0-1000（可调） 处理层数 11/15/17/17/21
腔体尺寸（WxDxH） 400*450*400mm
500*450*500mm
500*500*600mm
500*600*600mm
500×580×700mm		  外形尺寸（WxDxH） 1000*1030*1630mm
1100*1030*1680mm
1200*1100*1730mm
1200*1200*1730mm
1250*1230*1790mm
真空泵 5-100Pa（可调） 电极陶瓷 进口高频陶瓷
腔体材质 316不锈钢/进口铝合金（选配） 腔体温度 ＜30℃
等离子体发生器 40KHz/13.56MHz（选配） 控制方式 PLC+触摸屏
可选组合 产品适用于光电、IGBT、MEMS、COMS等半导体封装环节；
可进行等离子表面活化/清洗、等离子处理后粘合、等离子蚀刻/活化、等离子去胶、等离子涂镀(亲水,疏水)、增强绑定性、等离子涂覆、
等离子灰化和表面改性等场合；

 

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